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上海硅酸鹽所研發成功4英寸碳化硅單晶

關鍵詞 碳化硅 , 單晶|2014-03-10 09:01:57|來源 中國電力電子產業網
摘要 中國科學院上海硅酸鹽研究所立足自主研發,在掌握直徑50.8mm(2英寸)、76.2mm(3英寸)碳化硅單晶生長技術之后,近日成功生長出直徑100mm(4英寸)4H晶型碳化硅單晶。碳...
       中國科學院上海硅酸鹽研究所立足自主研發,在掌握直徑50.8mm(2英寸)、76.2mm(3英寸)碳化硅單晶生長技術之后,近日成功生長出直徑100mm(4英寸)4H晶型碳化硅單晶。碳化硅單晶正朝著大尺寸的方向迅速發展。

       碳化硅單晶是一種寬禁帶半導體材料,具有禁帶寬度大,飽和漂移速度高,臨界擊穿場強大,熱導率高等諸多特點,主要用于制作高亮度LED、二極管、MOSFET、IGBT等器件。在綠色照明領域,用碳化硅襯底制作的LED性能遠優于藍寶石襯底。2012年4月,科銳公司利用SiC襯底制作的LED其發光效率達到254 lm/w,再次創造了業界記錄。在功率半導體領域,碳化硅有望實現Si材料無法實現的高效率及小型化。2012年,科銳、三菱電機、羅姆均推出了全碳化硅功率模塊產品。飛兆半導體也宣布于2013年上半年開始量產碳化硅基雙極結型晶體管。碳化硅襯底需求將在短期內迎來一個爆發增長期。
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