一種碳化硅微粉的生產工藝，其步驟如下：
　　
　　(1)取碳化硅原料，經破碎機中碎，并篩分至不大于5mm的碳化硅顆粒，再用整形機對其進行整形至不大于2mm的碳化硅顆粒，且其中橢圓形顆粒占80％以上，再對其進行酸洗除雜，干燥；
　　
　　(2)將上述干燥后的碳化硅顆粒用磨粉機粉碎成d50＝9.5-11.5μm的碳化硅粉，粉碎時，磨粉機主機電流設定為65-75A，風機流量設定為40-50m3/min，分析機轉速為400--600轉/分；
　　
　　(3) 然后用渦流式氣流分級機對碳化硅粉進行分級，分級時，渦流式氣流分級機的風機流量為25-43m3/min，分級輪轉速為2600--3300轉/分，從分級口分出粒度ds94＝6.5-5.5μm的成品A，旋風口分出ds94≤5.5μm的半成品；
　　
　　(4)將渦流式氣流分級機旋風口分出的半成品用葉輪式氣流分級機再進行二次分級，分級時，葉輪式氣流分級機的風機流量為25-10m3/min，分級輪轉速為1300--1700轉/分，從分級口分出粒度為ds94＝4.5-3.0μm的成品B，旋風口則分出副產品。
　　
　　篩分
　　
　　篩分就是把顆粒、粉末分成大小不同的粒子段。單臺TS振動篩分機可配至4層篩網，能連續分選出2-5個粒級并控制較窄的粒度范圍。
　　
　　篩出雜質
　　
　　高性能篩機在高流量處理過程中，能迅速清除百分含量低的大顆粒或小顆粒漿渣分離。TS振動篩分機能把各類漿液中的非溶性固體物質迅速清除，并連續排渣。
　　
　　
　　來源：硅業在線