5月30日,我省首臺套金剛石微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)高端裝備在圍場滿族蒙古族自治縣下線。
據了解,傳統金剛石制備技術長期依賴進口裝備,成本高、工藝受限。由河北投實晶鎧科技有限公司自主研發(fā)的MPCVD高端裝備通過優(yōu)化微波等離子體參數,將金剛石單晶沉積速率提升,達到國際領先水平。
“我們依托圍場富集的綠電資源,采用綠電耦合技術,設備綜合能耗降低40%,可生產出純度達99.999%的高品質金剛石,滿足半導體級應用需求。裝備可連續(xù)作業(yè)2000小時無故障,為規(guī)模化生產奠定基礎,真正實現了技術自主可控和‘綠電造綠鉆’零碳閉環(huán)生產,實現經濟效益與環(huán)境效益雙贏。”河北投實晶鎧科技有限公司技術總監(jiān)吳偉慶說。
金剛石作為半導體終極材料,具有硬度高、耐腐蝕性強、導熱性能優(yōu)異等特性。“全球金剛石裝備市場正在以年均25%增速擴張,而傳統工業(yè)制造面臨純度低和能耗高等技術短板,MPCVD技術恰好破解了這些難題。”承德凱捷新能源科技有限公司總經理申偉東說,凱捷公司決定與投實晶鎧公司深度合作,利用園區(qū)資源優(yōu)勢,實現綠電高效利用,綠色材料反哺,綠色能源價值躍升。
圍場作為“國家首批綠色能源示范縣”,清潔能源并網總量已達748.81萬千瓦。近年來,圍場積極布局金剛石產業(yè),通過精準招引與深度合作,對接清華大學等知名院所,著力打造“釩鋰電池+氫能利用+裝備制造”特色產業(yè),因地制宜培育新質生產力,聚焦MPCVD設備及高端金剛石制造領域,創(chuàng)新提出“點石成金”“陽光制綠氫”“綠電造綠鉆”等新能源消納特色方案,將清潔電力與玄武巖加工、光敏半導體耦合制氫、半導體級金剛石制備等產業(yè)深度融合,實現資源就地轉化,推動產業(yè)集群化、高端化發(fā)展。