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碳化硅將領航新型功率半導體器件材料

關鍵詞 碳化硅|2007-10-25 00:00:00|來源 中國磨料磨具網
摘要 自上世紀80年代開始,高頻化和軟開關技術的開發研究,使功率變換器性能更好、重量更輕、尺寸更小。高頻化和軟開關技術是過去20年國際電力電子界研究的熱點之一。上世紀90年代中期,集成電...
自上世紀80年代開始,高頻化和軟開關技術的開發研究,使功率變換器性能更好、重量更輕、尺寸更小。高頻化和軟開關技術是過去20年國際電力電子界研究的熱點之一。
  
  上世紀90年代中期,集成電力電子系統和集成電力電子模塊(IPEM)技術開始發展,它是當今國際電力電子界亟待解決的新問題之一。
  
  關注:功率半導體器件性能
  
  1998年,Infineon公司推出冷mos管,它采用"超級結"(Super-Junction)結構,故又稱超結功率MOSFET。工作電壓 600V~800V,通態電阻幾乎降低了一個數量級,仍保持開關速度快的特點,是一種有發展前途的高頻功率半導體器件。
  
  IGBT剛出現時,電壓、電流額定值只有600V、25A。很長一段時間內,耐壓水平限于1200V~1700V,經過長時間的探索研究和改進,現在 IGBT的電壓、電流額定值已分別達到3300V/1200A和4500V/1800A,高壓IGBT單片耐壓已達到6500V,一般IGBT的工作頻率上限為20kHz~40kHz,基于穿通(PT)型結構應用新技術制造的IGBT,可工作于150kHz(硬開關)和300kHz(軟開關)。
  
  IGBT的技術進展實際上是通態壓降,快速開關和高耐壓能力三者的折中。隨著工藝和結構形式的不同,IGBT在20年歷史發展進程中,有以下幾種類型:穿通(PT)型、非穿通(NPT)型、軟穿通(SPT)型、溝漕型和電場截止(FS)型。
  
  碳化硅SiC是功率半導體器件晶片的理想材料,其優點是:禁帶寬、工作溫度高(可達600℃)、熱穩定性好、通態電阻小、導熱性能好、漏電流極小、PN結耐壓高等,有利于制造出耐高溫的高頻大功率半導體器件。
  
  可以預見,碳化硅將是21世紀最可能成功應用的新型功率半導體器件材料。
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