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以碳化硅為主要材料 日本研制出測量納米級尺寸的超精密尺子

關(guān)鍵詞 碳化硅 , 超精密尺子|2010-12-22 00:00:00|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 日本關(guān)西學院大學一個研究團隊20日宣布,他們研發(fā)出一種超精密尺子,可用于測量納米級別的尺寸。這個團隊來自關(guān)西學院大學理工學系。他們研制的這種尺子以硬度僅次于鉆石的碳化硅為主要材料。...
  日本關(guān)西學院大學一個研究團隊20日宣布,他們研發(fā)出一種超精密尺子,可用于測量納米級別的尺寸。
    
  這個團隊來自關(guān)西學院大學理工學系。他們研制的這種尺子以硬度僅次于鉆石的碳化硅為主要材料。碳化硅質(zhì)地堅硬,很難加工,研究人員為此專門開發(fā)出一種新的加工技術(shù)。他們把碳化硅放入超真空環(huán)境中加熱到約2000攝氏度,再對其表面進行切削。
    
  采用這一加工技術(shù),研究人員成功使碳化硅材料表面形成了階梯狀構(gòu)造,階梯的每級“臺階”為0.5納米,相當于尺子的一格刻度。據(jù)介紹,研究人員還能把“臺階”的高度做成0.76納米和1納米。
    
  研究人員表示,這種超精密尺子可廣泛應(yīng)用于超精密儀器、計算機中央處理器、大規(guī)模集成電路等諸多涉及納米技術(shù)的領(lǐng)域。新型尺子的耐腐蝕性也比傳統(tǒng)的硅制精密尺子更勝一籌。
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