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  4. 高壓碳化硅電力電子器件關鍵設備工藝獲批863前沿技術項目

高壓碳化硅電力電子器件關鍵設備工藝獲批863前沿技術項目

關鍵詞 碳化硅 , 電子電力 , 863|2013-09-02 09:58:39|來源 中國磨料磨具網
摘要 近日，由中國電子科技集團48所、2所、55所共同申請的國家科技部“863”前沿技術項目已獲批，該項目的主要目的是為高壓碳化硅電力電子器件的制造提供關鍵設備和工藝，其中包括4-6寸碳...
 
       近日，由中國電子科技集團48所、2所、55所共同申請的國家科技部“863”前沿技術項目已獲批，該項目的主要目的是為高壓碳化硅電力電子器件的制造提供關鍵設備和工藝，其中包括4-6寸碳化硅單晶生長爐、碳化硅外延生長爐和碳化硅高溫高能離子注入機的研發。

       當前正值我國大力開展科技創新推動產業轉型升級的新時期，碳化硅制造設備已被列入國家《新材料產業“十二五”發展規劃》重點產品目錄，碳化硅材料和器件的科研也已納入電力電子行業“十二五”規劃。
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