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碳化硅單晶爐研制成功,打破制約光電子發展瓶頸

關鍵詞 碳化硅單晶爐|2008-08-11 00:00:00|來源 中國磨料磨具網
摘要 近期,山東省光電子產業取得突破性進展,山東大學晶體材料國家重點實驗室碳化硅單晶爐研制成功,制約山東光電子發展的主要瓶頸已被打破。山東大學晶體材料國家重點實驗室繼碳化硅生長加工技術和...
  近期,山東省光電子產業取得突破性進展,山東大學晶體材料國家重點實驗室碳化硅單晶爐研制成功,制約山東光電子發展的主要瓶頸已被打破。
  
  山東大學晶體材料國家重點實驗室繼碳化硅生長加工技術和器件應用取得突破之后,在消化吸收國外單晶爐的基礎上,綜合多年單晶生長和半導體薄膜外延的經驗,集成創新,成功地研制出2英寸碳化硅單晶爐,并生長出了2英寸碳化硅單晶。
  
  碳化硅單晶產業化最后的一個難關被成功攻破,實現了從單晶生長爐制造、單晶生長、襯底加工和應用的全部國產化。單晶爐的研發成功為我們走有山東特色的半導體照明奠定了堅實的基礎,填補了國內空白,打破了國外壟斷。
  
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