碳化硅冶煉過程產生幾種有害氣體，主要有來源于冶煉爐中基本化學反應的一氧化碳（CO）及木屑和焦炭產生的二氧化硫（SO2）,硫化氫（H2S），甲硫醇（CH3SH）等。
　　 一氧化碳是無色，無味，無臭而有毒的氣體。空氣中一氧化碳含量在0.16%~0.2%時，人在1~1.5h后會中毒死亡，濃度增加到0.5%以上時，人在15min后即中毒死亡。
　　二氧化硫是有臭味的窒息性無色氣體，濃度為0.000006~0.000012時，就可引起鼻，咽刺激性反應，高濃度時此起支氣管炎等乃至死亡。
　　 硫化氫和甲硫醇屬于惡息物質。硫化氫的嗅閾值為0.0047×10－6，有臭雞蛋味。甲硫醇的嗅閾值為0.0021×10－6，有刺鼻的硫化物味。所以它們即使有微量進入環境也會使人們感到不舒適，出現頭痛，惡心，食欲不振和精神不集中等癥狀。硫化氫還能引起眼結膜炎，并被胃腸吸收，當進入血液后，部分與血紅蛋白結合，生成不可還原的硫化血紅蛋白，即能發生中毒癥狀。
　　衛生部，國家建委，國家計委，國家經委，國家勞動總局1979年9月30日頒發，1979年11月1日實行的《工業企業設計衛生標準》（TJ36－79），對有害物質濃度作了規定（表2-11-1及表2-11-2）。
　　
　　表2-11-1 車間空氣中有害物質的最高容許濃度（節錄）
　　有毒物質 一氧化碳 二氧化碳 硫化氫
　　最高容許濃度（mg/m3） 30 15 10
　　
　　表2-11-2 居住區大氣有害物質的最高容許濃度
　　物質名稱 一氧化碳 二氧化硫 硫化氫
　　最高容許濃度（mg/m3） 一次 3.00 0.50 0.01
　　 日平均 0.5 0.15
　　
　　 甲硫醇最高容許濃度國內尚無標準，日本標準為0.002×10－6。
　　表2-11-2中一次最高容許濃度，指任何一次測定結果的最大容許傳值。日平均最高容許濃度，指任何一日的平均濃度的最大容許值。檢驗方法應按衛生部批準的現行《大氣監測檢驗方法》執行。
　　 國家計委，國家建委，國家衛生部批準的《工業“三廢”排放試行標準（GBJ4－73）》對13類有害物質的排放量等作了規定，將有關部分節錄于表2-11-3。
　　 從碳化硅爐逸出的一氧化碳氣體，在爐表面燃燒后殘存部分散布在冶煉間內，并不斷向外逸散。曾對固定爐自然通風的冶煉間一氧化碳及二氧化硫濃度進行測定，其結果如表2-11-4，由表可見，一氧化碳濃度都超過了表2-11-1規定，而二氧化硫都在標準以下。
　　
　　表2-11-3 13類有害物質的排放標準（節錄）
　　有害物質名稱 排放有害物質企業① 排放標準
　　 排氣筒高度（m） 排放量（kg/h）②
　　二氧化硫 電站 30456080100120150 82170310650120017002400
　　 冶金 30456080100120 52911423450670
　　
　　
　　
　　
　　
　　 化工 30456080100 3466110190280
　　
　　
　　
　　
　　硫化氫 化工，輕工 20406080100120 1.33.87.6131927
　　一氧化碳 化工，冶金 3060100 1606201700
　　注：①表示未列入的企業，其有害物質的排放量，可參照本表類似企業。
　　②表中所列數據接平原地區，大氣為中性狀態，點源連續排放制定。間斷排放者，若每天多次排放，其排放量按表中規定；若每天排放一次而又小于1h，則二氧化硫，一氧化碳等7類物質的排放量可為表中規定量的3倍。
　　
　　表2-11-4 碳化硅冶煉車間有害氣體實測濃度
　　測點 空氣中CO濃度（mg/m3） 空氣中SO2濃度
　　爐上空，吊車駕駛室內 93~112 5.41~5.86
　　吊車大梁 61~72.3 4.19~4.72
　　吊車軌道上，下風側 117~190 13.66~11.87
　　爐道上，2m高處 67~81 2.85~3.12
　　爐墻上空，高于爐墻2m處 45~402.4 2.218~9.358