3月31日，日本政府稱，將從7月份開始對6類23種芯片制造設備施加出口限制，受限的設備主要與10-14納米及更先進的芯片制造工藝節點相關。此類設備向友好國家/地區以外的國家/地區出口時，需要獲得日本經濟產業省（METI）的許可。

該半導體設備出口管制針對中國意圖明顯，但日本經濟產業大臣西村康稔聲稱，這一舉措“不同于美國去年10月采取的措施”，日本的新舉措不針對特定國家，只是“強化確認相關設備出口后是否會被轉用于軍事用途的舉措”。

事實上，若無美國裹挾，日本難很走“傷敵一千，自損八百”這條路。

美國裹挾下，日本尋求平衡

美國于去年10月對向中國出口的芯片制造工具實施全面限制，然而，美國需要此類設備的其他主要供應商國家日本和荷蘭加入，才能使這些限制生效。

美國擁有三大芯片設備制造商，包括應用材料、科磊和泛林集團，與日本的東京電子和荷蘭ASML一起，在全球半導體行業中占據主導地位。如果不能獲得這些公司最好的芯片設備，就不可能建立能夠制造最先進芯片的工廠。

于是，白宮繼續向盟友施壓，要求他們通過限制措施，限制荷蘭ASML或日本東京電子等企業的半導體制造設備銷售。白宮認為，向中國銷售此類先進設備會導致一個問題，即中國有朝一日可能造出無法從美國購買的先進產品。

此外，日本廠商整體上在半導體設備領域擁有著不弱于美國的實力，可以說，日本應該是全球最容易打造出一條先進的“全國產化”半導體產線的國家。這也是美國拼命拉攏日本跟隨其限制政策的原因。

美國一直希望日本能同步收緊對華半導體設備出口，但日本一直尋求在兩個超級大國之間選擇一條中間道路。

如今，日本還是邁出了“艱難”的一步。

內需不足，外部多變，如今自斷“前路”

在1980年代，日本的芯片在全球的市場占有率超過50%，但如今卻只有10%左右。為何日本芯片制造業輝煌不再？對此，在日本宣布限制芯片設備出口的前一天，3月30日，日本經濟產業省的商務情報政策局局長野原諭給出答案。

野原表示原因有3個，第一，日本被美國逼迫簽訂的《美日半導體協議》，使日本芯片制造商不得不降低產能、減少出口；第二，日本一直堅持傳統的生產模式，從設計到制造都是在日本國內完成；第三，也是最重要的一點，是客戶的流失。

在興盛時期，日本芯片制造商的客戶大多是日本電機制造商。但當電機制造商的主力產品從電腦轉為手機，日本芯片制造商的主力客戶變成了海外制造商。但日本的芯片卻并沒有滲透到海外制造商中，日本國內的電機制造商也因泡沫經濟破滅、發展停滯不前。

半導體設備制造商寄國內芯片市場發展的希望渺茫，因此只能把目光轉向海外。

聯合國國際貿易中心數據顯示，2021年日本在全球半導體設備出口305億美元，對華出口額為120億美元左右，占向全球出口設備的近40%，位居所有地區之首。美國2021年對華出口68億美元，日本是其出口額的近兩倍。相比之下，只有26%和12.5%的美國和荷蘭半導體設備出口流向中國。此外受新冠疫情、地緣政治及全球經濟下滑等因素影響，終端設備需求下降，內存需求大幅下滑，導致廠商收緊投資，日本半導體設備的出口額也岌岌可危。

據日本半導體設備協會（SEAJ）最新數據顯示，截至2023年2月，日本半導體設備的國內外銷售額連續五個月下降。這也是銷售額連續第二個月低于3000億日元（23億美元）。SEAJ預估日本今年的半導體設備銷售額將降至近3.5萬億日元（263.85 億美元），年降幅為5%，為四年來首次下降。

而日本決定在7月份開始對23種芯片制造設備施加出口限制，必將使這一市場雪上加霜。其中，最“受傷”的當屬日本半導體設備供應商。

將受限的日本半導體設備公司有哪些？

日本最新措施的重點是先進半導體制造設備，制造芯片所需的極紫外（EUV）設備也被列入其中。這23項設備包括：3項清洗設備、11項薄膜沉積設備、1項熱處理設備、4項光刻/曝光設備、3項刻蝕設備以及1項測試設備。

據外媒報道稱，限制出口可能會影響到尼康、東京電子等十幾家日本企業。在日本宣布將芯片制造設備加入出口管制清單后，尼康和東京電子的股價應聲而跌，下跌了2%。

此外，愛德萬測試、日立高科、SCREEN、迪斯科、Kokusai Electric等也將是備受關注的重點。

東京電子（Tokyo Electron Ltd.）

東京電子是全球第三大以及日本最大的半導體制造設備供應商，控制著近90%的芯片涂層顯影和開發設備市場。中國是東京電子的最大客戶。截至2022年3月，中國占該公司芯片制造設備年銷售額的26%。其副總裁Hiroshi Kawamoto表示：“如果美國設備不能送到我們的中國客戶手中，他們將無法生產，因此我們的設備也無法到達那里。”

此前，被問及美國加強對中國出口半導體相關尖端設備的管控是否對日本產生影響時，東京電子社長河合利樹曾稱，“我不以民族主義的方式思考，無視民族主義是企業可持續全球增長的關鍵。在美國對中國出口限制的背景下，讓東京電子遠離風險很重要，但保持尖端設備持續向客戶供應的環境也很重要。”

尼康（Nikon）

同樣被認為將受監管的“ArF浸入式光刻設備”的制造商尼康稱，“2022年銷售的每五款產品中至少有一款面向中國”。

尼康成立于1917年，1980年開始半導體光刻設備研究，1986年推出第一款FPD光刻設備，如今業務線覆蓋范圍廣泛。2004年之前，尼康占據光刻機市場超過50%的市場份額，被譽為“設備業界王者”。但后來再關鍵技術路線上選擇錯誤，使得尼康從光刻機王者寶座跌落。

尼康曾表示，“過去，我們ArF光刻系統 80% 以上的銷售額都集中在一個核心北美客戶。”本財年，尼康一半以上的銷售額預計將流向其“北美核心客戶”以外的公司。通過將客戶群分散到日本和亞洲其他地區，尼康希望在下一財年及以后為其精密設備業務建立穩定的基礎。而“亞洲其他地區”幾乎完全是指中國。

尼康在截至2022年3月的財年中約占中國總銷售額的28%，約40%的銷售額來自其光刻機業務。

尼康發言人表示，日本此次推出限制措施，尼康目前提供兩種類型的浸入式光刻系統的銷售可能會受到影響。

愛德萬測試（Advantest）

愛德萬測試（Advantest）是一家日本芯片測試設備制造商，成立于1954年，為全球的半導體產業提供自動化測試設備和一體化的測試技術解決方案，與總部位于美國的泰瑞達（Teradyne）展開競爭。

在全球半導體測試設備市場，主要被美國泰瑞達和日本愛德萬所占據。在SOC測試領域，泰瑞達具有較高的優勢，而愛德萬在存儲器測試領域處于領軍地位，但其SOC測試設備市場份額逐漸穩步上升。

中國也是愛德萬的最大市場，2021年僅來自中國的訂單金額就達1890億日元，占該公司總銷售額的27%。

愛德萬測試的一位高管1月份表示，“我們認為美國對中國的出口限制直接阻止我們銷售我們的測試儀的風險很小。然而，我們可能會受到間接影響，因為這些限制會停止供應其他公司的生產設備，促使我們的客戶重新審視他們的商業計劃。”

日立高新（Hitachi High-Tech）

日本日立高新成立于1947年，是全球領先的設備廠商。主要產品包括半導體設備、電子顯微鏡、FPD設備及醫療分析設備等。

在半導體設備領域，主要生產干蝕刻系統和CD-SEMI和缺陷檢查系統。這些設備廣泛應用于大規模集成電路、功率器件和聲表面波濾波器、CMOS圖像傳感器、微機電系統和其他（硬盤和平板顯示器）。

迪恩士（SCREEN）

迪恩士創立于1943年，是世界上唯一生產線圖像制版器材、電子原件制造設備的綜合制造廠商，也是是全球第六大的半導體設備廠商。

迪恩士1975年開發出晶圓刻蝕機，正式開啟半導體設備制造之路。隨后四十多年里公司專注于半導體制造設備，在清洗設備領域公司具有強大的競爭優勢。迪恩士的業務有半導體制造設備（SPE）、PCB設備（PE）、液晶制造設備（FT）、圖像情報處理機器（GA）以及ICT解決方案等。

值得一提的是，在晶圓清洗領域，2009年迪恩士在單晶圓清洗系統中獲得了全球60％以上的份額，在涂布機/顯影機，濕法蝕刻機和抗蝕劑剝離劑的LCD制造設備市場上贏得了2008年全球最大的份額。此迪恩士在圖案檢查和液晶制造設備行業也擁有龍頭地位。

迪斯科（Disco Corporation）

迪斯科創立于1937年，總部位于日本東京，是全球領先的晶圓切割設備廠商。根據數據顯示，在2021年的半導體晶圓切割設備，DISCO占據了超過70%的市場份額。

迪斯科經營三個業務部門。精密加工系統部門生產，銷售，維護和提供半導體制造設備和精密加工工具的相關服務，包括切割鋸，激光鋸，磨床，拋光機，干蝕刻機，表面刨床，切割刀片，砂輪和干拋光輪。工業磨削和切割產品部門制造和銷售金剛石砂輪和磨石用于磨削和切削。精密加工部門主要生產和銷售精密加工設備的部件。

Kokusai Electric

KOKUSA電氣的前身是日立國際電氣，于2017年底作為非核心業務出售給了私募股權基金Kohlberg Kravis Roberts（KKR），從而離開了日立集團。

制造半導體的最重要階段是通過沉積和熱處理形成薄膜。KOKUSAI電氣公司擁有一種新穎的下一代沉積技術——平衡控制沉積（BCD），BCD技術為先進的小型幾何設備提供更低的溫度處理和更嚴格的過程控制，同時保持非常高的生產力。KOKUSAI電氣公司生產的半導體制造設備利用了那些接近物理極限的世界一流的薄膜形成技術，例如10納米微制造技術，為快速發展的晶圓廠設備市場提供服務。

Lasertec

Lasertec 是世界上唯一一家使用極紫外掩模光刻技術的半導體檢測設備制造商。Lasertec專注于設計和開發，將生產的大部分委托給外部，其“輕工廠”（fab-light）的優勢擴大了收益。這家芯片測量制造商在中國的銷售額占其全球銷售額的不到10%。Lasertec表示，由于該公司在中國的銷量較小，出口限制將對該公司產生“有限、微不足道的影響”。

佳能（Canon）

佳能成立于1937年，原名為精機光學工業株式會社，1984年，佳能推出首款步進式光刻機（stepper），2011年，佳能推出第一款用于后道的步進式光刻機FPA-5510iV，正式進入先進封裝領域的光刻市場。

佳能的FEOL（生產線前道工序）產品陣容強大，包括深紫外光（DUV）掃描式光刻機FPA-6300ES6a和I線步進式光刻機FPA-5550iZ2，得益于其高生產率和低成本的優勢而受到存儲器制造廠商的青睞。

佳能的關鍵優勢之一是產品覆蓋半導體前道市場和半導體后道市場，產品組合廣泛。加上在前道技術開發過程中積累了寶貴的經驗，在開發后道產品時可借鑒早期平臺研發的經驗，并利用經過驗證的專有光學制造技術，不斷改進光刻系統的性能。

大福集團（Daifuku）

大福集團創于1937年，最早生產氣錘、鍛壓加工機，隨著日本經濟的復興與發展，開始涉足物料運輸及管理物流。

大福集團的潔凈室存儲、搬運系統被廣泛應用于半導體、液晶等平板顯示器制造行業，在許多世界著名企業均有銷售。大福集團曾是2018年全球前十五大半導體設備廠商。

只是日本的第一步？

日本企業（中國）研究院執行院長陳言分析表示，此次的出口限制只是日本走出的第一步，今后日本會在更多的相關產業上有所動作。在一定程度上，日本在多個技術領域已經被中國趕超，在半導體等方面還保持著對中國的高技術優勢。

而不管日本推出何種限制措施，其對全球產供鏈穩定的破壞，終將會損人害己，對日本半導體設備商也將造成巨大損失。