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哈工大過濾陰極真空電弧薄膜沉積技術國內領先

關鍵詞過濾陰極真空電弧薄膜沉積技術|2005-01-18 00:00:00|來源中國磨料磨具網

摘要 2005年1月7日，哈工大復合材料與結構研究所朱嘉琦博士等研究人員正在進行沉積非晶金剛石薄膜的實驗。科研人員采用過濾陰極真空電弧和磁控濺射等工藝方法，制備高性能的非晶金剛石薄膜、不...

　　2005年1月7日，哈工大復合材料與結構研究所朱嘉琦博士等研究人員正在進行沉積非晶金剛石薄膜的實驗。科研人員采用過濾陰極真空電弧和磁控濺射等工藝方法，制備高性能的非晶金剛石薄膜、不同摻雜的非晶金剛石薄膜以及其他先進功能薄膜材料,可廣泛應用于聲表面波器件、太陽能電池以及紅外光學窗口等不同領域。

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