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碳化硅晶片的化學機械拋光技術

碳化硅晶片的化學機械拋光技術
碳化硅晶片的化學機械拋光技術
碳化硅晶片的化學機械拋光技術

碳化硅(SiC)材料具有尺寸穩定性好、彈性模量大、比剛度大、導熱性能好和耐腐蝕等性能,在現代工業領域應用廣泛:在半導體領域,利用其具有禁帶寬度、擊穿場強高和導熱性良好等...

日期 2024-01-25   
碳化硅晶片的超精密拋光工藝

碳化硅晶片的超精密拋光工藝

摘要使用化學機械拋光(CMP)方法對碳化硅晶片進行了超精密拋光試驗,探究了滴液速率、拋光頭轉速、拋光壓力、拋光時...

日期 2023-05-30   

一種碳化硅晶片斜面磨削、研磨和拋光機及其操作方法

申請號:201410750011.1申請日:2014.12.10國家/省市:中國江蘇(32)&

日期 2015-05-11   

比黃金貴十倍 天科合達碳化硅晶片產量全球第三

外觀像透明玻璃,厚薄似一張紙,大小如一次性紙杯杯底——日前,記者在蘇州天科合達藍光半導體有限公司看到了該公司的產品:一片2英寸大的“碳化硅晶片”。可別小看這片圓圓的“小...

日期 2010-04-14   

碳化硅晶片國產化,指日可待

近日,天科合達藍光控股主公司的G天富已經開始進入第三代半導體材料碳化硅晶片產業,成為全球碳化硅晶片的主要供應商。該公司碳化硅項目已于今年8月已經開工建設,預計明年4月建...

日期 2006-09-13   

物理所合作建立國內首條碳化硅晶片中試生產線

中科院物理研究所與北京天科合達藍光半導體有限公司經過8個月的努力,合作研發出了具有自主知識產權的第二代碳化硅晶體生長爐,進一步優化了具有自主知識產權的碳化硅晶體生長工藝...

日期 2007-07-17   

我國首條碳化硅晶片試生產線建立

中科院物理研究所與北京天科合達藍光半導體有限公司經過8個月的努力,合作研發出了具有自主知識產權的第二代碳化硅晶體生長爐,進一步優化了具有自主知識產權的碳化硅晶體生長工藝...

日期 2008-01-28   

天富熱電子公司初具批量生產導電型碳化硅晶片能力

天富熱電子公司天科合達初步具備批量生產2英寸6H/4H導電型碳化硅晶片的能力,截至目前,該產品還未有大批量的商業訂單銷售。此外,天科合達已開發非摻雜半絕緣碳化硅晶體生長...

日期 2009-02-23   
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第六屆磨料磨具磨削展覽會暨2023金剛石產業大會

第六屆磨料磨具磨削展覽會暨2023金剛石...

2023年9月20日,時隔四年,期待已久的第六屆磨料磨具磨削展覽會在鄭州國際會展中心隆重開幕。本次展覽會由中國機械工業集團有限公司、國機精工股份有限公司、中國機械國際合作股份有限公司聯合主辦。旨在推動中國磨料磨具行業的快速發展,加強國內外企業的交流與合作。

中國人造金剛石誕生60周年

中國人造金剛石誕生60周年

1963年,我國成功研制出第一顆人造金剛石,經過幾代人的拼搏奮斗,實現了從無到有、從小到大、從弱到強的華麗蝶變。人造金剛石及其制品在我國航空航天、國防軍工、機床機械等領域發揮著愈發重要的作用。不僅如此,隨著金剛石技術的選代,金剛石民用領域—培育鉆石迎來了自己的大爆發,中國占據了世界培育鉆石產量的80%以上,近幾年在國際上產生了巨大影響力。

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