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官方微信摘要 申請(qǐng)?zhí)?201410259519.1申請(qǐng)日:2014.06.12國(guó)家/省市:日本(JP)&n
申請(qǐng)?zhí)? 201410259519.1 申請(qǐng)日: 2014.06.12
國(guó)家/省市: 日本(JP)
公開號(hào): 104227547A
公開日: 2014.12.24
主分類號(hào): B24B 37/00(2012.01)
分類號(hào): B24B 37/00(2012.01); H01L 33/00(2010.01)
申請(qǐng)人: 株式會(huì)社迪思科
發(fā)明人: 足立卓也
代理人: 李輝 黃綸偉
代理機(jī)構(gòu): 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司(11127)
申請(qǐng)人地址: 日本東京都
優(yōu)先權(quán): JP2013-125151
摘要： 本發(fā)明提供藍(lán)寶石基板的加工方法，從藍(lán)寶石晶棒切出的浪費(fèi)少，能夠確保使與由氮化鎵系列化合物半導(dǎo)體構(gòu)成的發(fā)光層的融合良好的A面成為正背面的藍(lán)寶石基板的面精度。在該藍(lán)寶石基板的加工方法中，對(duì)從藍(lán)寶石晶棒切出并由A面形成了正面和背面的藍(lán)寶石基板進(jìn)行磨削加工，包含：保持工序，在保持被加工物并能夠旋轉(zhuǎn)的卡盤工作臺(tái)上保持藍(lán)寶石基板的一面；以及磨削工序，使保持有藍(lán)寶石基板的卡盤工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)，并且一邊使環(huán)狀地配設(shè)有磨削石的砂輪旋轉(zhuǎn)一邊使磨削石與藍(lán)寶石基板的另一面接觸而對(duì)藍(lán)寶石基板的另一面進(jìn)行磨削，在該磨削工序中，作為磨削液向磨削石的磨削部供給混入了金剛石磨粒的漿料。
主權(quán)利要求 1.一種藍(lán)寶石基板的加工方法，對(duì)從藍(lán)寶石晶棒切出并由A面形成了正面和背面的藍(lán)寶石基板進(jìn)行磨削加工，該藍(lán)寶石基板的加工方法的特征在于，包含：保持工序，在保持被加工物并能夠旋轉(zhuǎn)的卡盤工作臺(tái)上保持藍(lán)寶石基板的一面；以及磨削工序，使保持有藍(lán)寶石基板的卡盤工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)，并且一邊使環(huán)狀地配設(shè)有磨削石的砂輪旋轉(zhuǎn)一邊使磨削石與藍(lán)寶石基板的另一面接觸而對(duì)藍(lán)寶石基板的另一面進(jìn)行磨削，在該磨削工序中，作為磨削液向磨削石的磨削部供給混入了金剛石磨粒的漿料。
豫公網(wǎng)安備41019702003604號(hào)