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一種半導(dǎo)體用高純碳化硅微粉的提純方法

關(guān)鍵詞 山田研磨 , 碳化硅 , 半導(dǎo)體|2016-10-09 09:58:18|行業(yè)專利|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 申請(qǐng)?zhí)?201610370116.3申請(qǐng)日:2016.05.30國家/省市:中國山東(37)公開號(hào):105948055A公開日:2016.09.21主分類號(hào):C01B31/36(2...
申請(qǐng)?zhí)? 201610370116.3
申請(qǐng)日: 2016.05.30
國家/省市: 中國山東(37)
公開號(hào): 105948055A
公開日: 2016.09.21
主分類號(hào): C01B 31/36(2006.01)
分類號(hào): C01B 31/36(2006.01)
申請(qǐng)人: 山田研磨材料有限公司
發(fā)明人: 郝文虎; 龔志剛; 周強(qiáng); 馬光明; 韓宇; 劉文兵
代理人: 董寶錁
代理機(jī)構(gòu): 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司(37212)
申請(qǐng)人地址: 山東省臨沂市臨沭鎮(zhèn)后高湖村

摘要: 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體用高純碳化硅微粉的提純方法,屬于碳化硅微粉生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。解決了現(xiàn)有技術(shù)生產(chǎn)的碳化硅微粉雜質(zhì)含量較高,提純難度大的問題。其包括以下步驟:(1)調(diào)漿:將研磨好的碳化硅微粉投入攪拌桶內(nèi),加去離子水調(diào)節(jié)料漿濃度;(2)酸洗:加入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為98%的硫酸;(3)加溫?cái)嚢瑁簩⒘蠞{加熱至40?80℃,并攪拌陳腐;(4)加混合酸:在陳腐好的料漿中加入混合酸;(5)加溫?cái)嚢瑁簩⒓尤牖旌纤岷蟮牧蠞{加熱至50?80℃,攪拌、陳腐;(6)沖洗:將陳腐后的物料打入壓濾機(jī)內(nèi)用去離子水沖洗至pH值為5?6.5,即得產(chǎn)品。本發(fā)明方法適合提純半導(dǎo)體用高純碳化硅微粉。 

主權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體用高純碳化硅微粉的提純方法,其特征在于包括以下步驟:(1)調(diào)漿:將研磨好的碳化硅微粉投入攪拌桶內(nèi),加去離子水調(diào)節(jié)料漿濃度;(2)酸洗:加入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為98%的硫酸;(3)加溫?cái)嚢瑁簩⒓铀岷蟮牧蠞{加熱至40-80℃,在此溫度下攪拌5-10小時(shí)后陳腐8-15小時(shí);(4)加混合酸:在陳腐好的料漿中加入混合酸,混合酸與碳化硅微粉的質(zhì)量比為1:15-20;(5)加溫?cái)嚢瑁簩⒓尤牖旌纤岷蟮牧蠞{加熱至50-80℃,在此溫度下攪拌5-10小時(shí),陳腐8-15小時(shí);(6)沖洗:將陳腐后的物料打入壓濾機(jī)內(nèi)用去離子水沖洗至pH值為5-6.5,即得所述的半導(dǎo)體用高純碳化硅微粉。
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