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一種304不銹鋼化學機械拋光用拋光劑和拋光液及其制備方法

關鍵詞 磨料 , 拋光|2017-06-26 10:48:49|行業專利|來源 中國磨料磨具網
摘要 申請號:201710082541.7申請日:2017.02.16國家/省市:中國河南(41)公開號:106811751A公開日:2017.06.09主分類號:C23F3/06(20...
申請號: 201710082541.7
申請日: 2017.02.16
國家/省市: 中國河南(41)
公開號: 106811751A
公開日: 2017.06.09
主分類號: C23F 3/06(2006.01)
分類號: C23F 3/06(2006.01); C09G 1/02(2006.01)
申請人: 河南科技學院
發明人: 蘇建修; 王占奎; 李勇峰; 姚建國; 陳佳鵬; 彭亞男; 劉振輝; 李潔靜
代理人: 王加貴
代理機構: 11569
申請人地址: 河南省新鄉市華蘭大道東段河南科技學院機電學院

摘要: 本發明提供了一種304不銹鋼化學機械拋光用拋光劑,包括下述重量份的組分:磨料1~10份,磨料分散劑1~15份,氧化劑1~20份,表面活性劑2~10份,碳納米粉0.5~5份,pH值調節劑5~20份和pH值穩定劑1~5份;所述pH值穩定劑的pH值為2。采用包括本發明提供的拋光劑的拋光液對304不銹鋼進行化學機械拋光,拋光過程中各組分穩定存在,為304不銹鋼化學機械拋光過程中提供穩定的拋光環境,有助于化學機械拋光持續穩定進行,充分發揮化學機械拋光的優勢,進而得到拋光效果良好的304不銹鋼,滿足柔性襯底的要求。

主權利要求
1.一種304不銹鋼化學機械拋光用拋光劑,包括下述重量份的組分:磨料1~10份,磨料分散劑1~15份,氧化劑1~20份,表面活性劑2~10份,潤滑劑0.5~5份,pH值調節劑5~20份和pH值穩定劑1~5份;所述pH值穩定劑的pH值為2。
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