超聲波拋光就是將零件放在磨料懸浮液中，然后放進有超聲波場的裝置內。依靠超聲波的振蕩作用使磨料在零件表面起磨削拋光作用，而成為一種新的拋光方法。拋光中使用的磨料有尺寸為200～2000目的氧化鋁、碳化硼、碳化硅及金剛砂粉末等。粉末越細，拋光出來的表面越光滑。例如，用200目的磨料粉可獲得Ra0.5um的光亮度，而用800目的磨料粉可獲得Ra0.2um的光亮度。

       超聲波技術也可以和化學拋光、電解拋光結合成復合拋光的加工方法，即在化學、電解拋光作用的基礎上，再加上超聲波振蕩、攪拌拋光溶液，使工件表面的溶解物快速擴散，表面附近的介質均勻，起到提高拋光效率，保證質量的作用。