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山東大學(xué)晶體實驗室成功研制出大尺寸碳化硅晶體

關(guān)鍵詞 KDP晶體 , 碳化硅單晶 , 高溫半導(dǎo)體材料|2005-12-05 00:00:00|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 走進(jìn)山東大學(xué)晶體材料國家重點(diǎn)實驗室,更像是走進(jìn)了夢幻般的“水晶宮”。在這里,晶瑩的紅色寶石、剔透的人造鉆石,已經(jīng)不再是最吸引眼球的瑰寶,而展廳正中重達(dá)380公斤的透明KDP晶體,大...
  走進(jìn)山東大學(xué)晶體材料國家重點(diǎn)實驗室,更像是走進(jìn)了夢幻般的“水晶宮”。在這里,晶瑩的紅色寶石、剔透的人造鉆石,已經(jīng)不再是最吸引眼球的瑰寶,而展廳正中重達(dá)380公斤的透明KDP晶體,大概是最美麗而昂貴的———它展現(xiàn)的是科學(xué)的美。在陶緒堂博士的引導(dǎo)和解說下,我們理解了“晶體是美麗的,更是有用的”這句話的含意。
    
  “晶體與氣體、液體以及非晶質(zhì)固體的本質(zhì)區(qū)別是結(jié)構(gòu)上的‘長程有序’,晶體的‘長程有序’規(guī)律,可以用點(diǎn)陣構(gòu)造來描述。在晶體中,晶瑩透明的有很多,但并不是所有透明的固體都是晶體,如玻璃就不是晶體。這是因為,玻璃并沒有‘長程有序’結(jié)構(gòu)。”陶緒堂博士深入淺出的解釋,讓我們對這座神秘的科學(xué)殿堂親近了許多。
  
  我們的腳步踏進(jìn)碳化硅單晶實驗室。與KDP晶體生長實驗室不同的是,這里的儀器設(shè)備精密且復(fù)雜,空間布局緊湊,這里有目前世界上最先進(jìn)的碳化硅單晶生長爐,價值超過800萬元。
  主持這一研究的徐現(xiàn)剛博士說,碳化硅晶體被稱為第三代半導(dǎo)體材料,又稱為寬禁帶半導(dǎo)體材料、高溫半導(dǎo)體材料等,是目前國際上的研究熱點(diǎn)。它們具有高熱導(dǎo)率、高臨界擊穿電場和低介電常數(shù)等特點(diǎn),成為耐高溫、大功率、耐高壓、抗輻照的半導(dǎo)體器件的優(yōu)選材料。其器件可用于核反應(yīng)堆系統(tǒng)、宇航、電力系統(tǒng)等領(lǐng)域的極端環(huán)境中。該晶體的生長條件苛刻,需在2100℃以上保持高真空一周以上,且對籽晶質(zhì)量、固定方式等也有很高要求。晶體材料國家重點(diǎn)實驗室利用長期研究工作中積累的單晶生長經(jīng)驗,結(jié)合自行設(shè)計的獨(dú)特的坩堝和溫場,配合國外進(jìn)口設(shè)備,在短時間內(nèi)成功地生長出直徑達(dá)2英寸的碳化硅晶體,并圓滿解決了切片、拋光等工藝。大尺寸碳化硅晶體的研制成功,使我國成為繼美國、日本、德國之后,有能力生長這種晶體的國家,打破了西方國家對我國的禁運(yùn),并為我國的高溫半導(dǎo)體材料的研發(fā)和應(yīng)用跨出了重要的一步。
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