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芯片切割用碳化硅微粉實(shí)現(xiàn)“中國(guó)造”

關(guān)鍵詞 碳化硅微粉|2006-05-15 00:00:00|來源 中國(guó)磨料磨具網(wǎng)
摘要 這項(xiàng)成果使國(guó)內(nèi)芯片生產(chǎn)用上了自己的磨削材料,不僅提高了連云港硅產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力,還將推動(dòng)我國(guó)硅支柱產(chǎn)業(yè)高技術(shù)化二次革命。”在昨日召開的“硅晶片超精密磨削用6HSIC高親水性粉體材料的...
這項(xiàng)成果使國(guó)內(nèi)芯片生產(chǎn)用上了自己的磨削材料,不僅提高了連云港硅產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力,還將推動(dòng)我國(guó)硅支柱產(chǎn)業(yè)高技術(shù)化二次革命。”在昨日召開的“硅晶片超精密磨削用6HSIC高親水性粉體材料的制備技術(shù)”科技成果鑒定會(huì)上,鑒定委員會(huì)主任、中科院院士陳光教授興奮地說。至此,經(jīng)過3年攻關(guān).由連云港市研磨廠主持的此科研項(xiàng)目通過省科技廳鑒定,我國(guó)硅晶片超精密磨削介質(zhì)依靠進(jìn)口的歷史從此改寫。
  
  碳化硅是已知最硬的物質(zhì)之一,超精細(xì)碳化硅微粉被視為高檔磨削介質(zhì)。我國(guó)是世界上最大碳化硅原料產(chǎn)地,但因技術(shù)不高,國(guó)內(nèi)硅晶片切割用碳化硅微粉還要靠進(jìn)口,這嚴(yán)重制約了我國(guó)IT產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新。
  
  “以前,國(guó)外公司將我們產(chǎn)品作為原料,加上成高檔微粉再以近10倍的高價(jià)賣回。”廠長(zhǎng)朱立起對(duì)此深有感觸,“這不僅浪費(fèi)了珍貴資源,更可怕的是將永遠(yuǎn)受制于人。”2003年初,他立志自主研發(fā)高檔碳化硅微粉。當(dāng)時(shí)核心技術(shù)全被國(guó)外壟斷,研磨廠科研能力也不強(qiáng),朱立起選擇了“合縱”戰(zhàn)略。該企業(yè)借助中國(guó)磨具磨料磨削研究所的專家力量和實(shí)驗(yàn)平臺(tái),解決了產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)、檢測(cè)手段等難關(guān)。從中國(guó)第一砂輪廠聘請(qǐng)的專家?guī)椭麄児タ肆艘睙捁に囯y關(guān),并成功對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備實(shí)施了機(jī)電一體化改造。
  
  在攻關(guān)過程中,該廠通過國(guó)際支持解決了科研資金難題。2003年,中加中小企業(yè)應(yīng)用管理與環(huán)保合作項(xiàng)目提供300萬(wàn)資金幫助研磨廠實(shí)施了清潔生產(chǎn)技術(shù)革新,為高檔微粉生產(chǎn)創(chuàng)造了決定性條件。
  
  2004年底,研磨廠掌握了高檔碳化硅微粉生產(chǎn)核心技術(shù),并獲得兩項(xiàng)國(guó)家專利。
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