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真空蒸發原理要點如下

關鍵詞 真空 , 成膜|2011-06-28 15:48:13|基礎知識|來源 中國磨料磨具網
摘要 1.真空(條件)真空蒸鍍是以真空技術為基礎的一種表面處理方法,必須在一定的真空條件下進行。2.材料(對象)成膜材料一般是金屬或合金。膜的基體(鍍件)既可以是金屬,也可以是非金屬。基...
  1.真空(條件) 真空蒸鍍是以真空技術為基礎的一種表面處理方法,必須在一定的真空條件下進行。
  2.材料(對象) 成膜材料一般是金屬或合金。膜的基體(鍍件)既可以是金屬,也可以是非金屬。基體形狀可以是片狀,粉粒狀等各種形狀。
  3.蒸發(手段) 成膜材料加熱蒸發,使之汽化。汽化粒子可以是分子,原子,原子團。加熱方式有多種,例如電阻加熱法,高頻感應法,電子束法(E形電子槍法),離子束法,激光束法等。
  4.成膜(目的) 蒸發汽化的粒子在基體表面上鍍覆(附著,粘附,凝聚,凝固,沉積,冷凝,凝結),形成符合要求的鍍層(薄膜)。

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日期 2011-06-29   制造技術

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真空蒸發鍍的定義

真空蒸發鍍是將真空容器內放置的蒸發物質加熱蒸發,并使蒸發的粒子凝固在被鍍基體表面上而形成薄膜的方法。真空蒸發鍍也稱為真空蒸鍍、真空熱蒸發鍍、真空蒸發鍍膜等,它是最早出現的真空鍍膜方法。

日期 2011-06-29   基礎知識

真空離子鍍過程包含如下四個要點

1.在一定的真空條件下進行。2.成膜材料蒸發。可以采用真空蒸鍍相同的蒸發方法,還可以采用空心陰極型電子束法和真空電弧法。3.蒸發的成膜材料部分電離。電離方式,可以利用惰性氣體等離子體(例如直流輝光放電法,空心陰極法)...

日期 2011-06-29   制造技術

真空離子鍍定義

在一定的真空狀態下,將從蒸發源蒸發的粒子部分地離子化,并和其余的中性粒子一起沉積在基體上而形成鍍層的技術,稱為真空離子鍍,簡稱離子鍍。也可稱為真空離子蒸鍍。

日期 2011-06-29   基礎知識

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高能離子或中性原子碰撞物體表面,使表面的原子或原子脫離物體的現象,稱為濺射或噴濺。由低壓氣體放電產生的正離子碰撞陰極表面而發生的濺射,稱為陰極濺射。利用磁控管進行的陰極濺射,稱為磁控陰極濺射,簡稱磁控濺射。利用上述濺...

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