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CMP制程中的拋光墊

關(guān)鍵詞 拋光墊|2024-05-10 10:24:17|來(lái)源 晶格半導(dǎo)體
摘要 本文介紹了CMP制程中的拋光墊的成分和作用。

       CMP技術(shù)的目的是消除硅片表面的高點(diǎn)及波浪形。拋光墊是輸送研磨漿料的關(guān)鍵部件, 它用于將研磨漿中的磨蝕粒子送入片子表面并去除副產(chǎn)品,平坦化的獲得是因?yàn)楣杵夏切┹^高的部分接觸拋光墊而被去除。

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       CMP拋光墊通常由聚氨酯泡沫材料制成,這種材料具有優(yōu)異的耐磨性和彈性。聚氨酯的多孔結(jié)構(gòu)使得拋光墊在拋光過(guò)程中能夠有效地緩沖壓力、收集去除物、傳輸拋光液,并保證化學(xué)腐蝕作用。這些微孔的設(shè)計(jì)對(duì)于提高拋光均勻性和效率至關(guān)重要。孔徑的大小和分布會(huì)影響拋光墊的傳輸能力和拋光效果。

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       拋光墊的硬度對(duì)拋光均勻性有明顯的影響,硬墊可獲得較好的模內(nèi)均勻性 (WID) 和較大的平面化距離,軟墊可改善片內(nèi)均勻性 (WIW),為獲得良好的WID和 WIW,可組合使用軟、硬墊,在圓片及其固定裝置間加一層彈性背膜 (backing film),可滿(mǎn)足剛性及彈性的雙重要求。

       硅片材料的性質(zhì)和要求:不同的硅片材料需要選擇適合的拋光墊。

       磨料顆粒的粒徑和形狀:磨料的選擇會(huì)影響拋光效果。

       拋光液的配方和使用方法:不同的拋光墊需要配合相應(yīng)的拋光液。

       避免過(guò)度壓力:過(guò)度的壓力會(huì)加速拋光墊的磨損。

       拋光墊的整修:拋光墊使用后會(huì)逐漸“釉化”,使去除速度下降,用修整的方法可以恢復(fù)拋光墊的粗糙面,改善其容納漿料的能力,從而使去除速度得到維持且延長(zhǎng)拋光墊的壽命。

       定期更換拋光墊:定期更換可以保證拋光效果和產(chǎn)品質(zhì)量。

       正確處理拋光墊:使用和清洗時(shí)應(yīng)避免損傷拋光墊表面,存儲(chǔ)時(shí)應(yīng)避免不利環(huán)境因素。

       總之,CMP拋光墊是半導(dǎo)體制造中不可或缺的材料,正確的選型和使用對(duì)于保證產(chǎn)品質(zhì)量和提高生產(chǎn)效率至關(guān)重要。通過(guò)綜合考慮材料特性、工藝要求和設(shè)備條件,可以有效地利用CMP拋光墊,實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的表面加工。

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