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高性能α相碳化硅晶須的制造方法

名稱高性能α相碳化硅晶須的制造方法公開號1053271公開日1991.07.24主分類號C30B29/36分類號C30B29/36;C30B29/62;C04B35/8...

日期 2011-06-23   
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