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官方微信摘要 申請?zhí)?201710461127.7申請日:2017.06.18國家/省市:中國江蘇(32)公開號:107043599A公開日:2017.08.15主分類號:C09G1/02(20...
申請?zhí)? 201710461127.7 申請日: 2017.06.18
國家/省市: 中國江蘇(32)
公開號: 107043599A
公開日: 2017.08.15
主分類號: C09G 1/02(2006.01)
分類號: C09G 1/02(2006.01)
申請人: 沈水平
發(fā)明人: 沈水平
申請人地址: 江蘇省南通市啟東市濱江鎮(zhèn)新橋村四組5號
摘要： 本發(fā)明公開一種硅晶片拋光液，按質(zhì)量份數(shù)計包括以下組分：20份的硅溶膠磨料、0.1份的六羥丙基丙二胺、2份的四羥乙基乙二胺、0.1份的烷基醇酰胺、80份的去離子水。該硅晶片拋光液，不腐蝕污染設備，容易清洗，且拋光速率快，平整性好，表面質(zhì)量好。 翻譯
主權利要求
1.一種硅晶片拋光液，其特征在于，按質(zhì)量份數(shù)計包括以下組分：20份的硅溶膠磨料、0.1份的六羥丙基丙二胺、2份的四羥乙基乙二胺、0.1份的烷基醇酰胺、80份的去離子水。
豫公網(wǎng)安備41019702003604號